Влажность элегаза является одним из критических параметров для высоковольтного оборудования.
Элегаз используется в качестве изолятора для силовых выключателей и КРУЭ. Однако при горении электрической дуги в присутствии паров воды происходит разложение элегаза и выделение чрезвычайно агрессивных и ядовитых паров плавиковой кислоты.